Porowaty węglik tantalu: nowa generacja materiałów do wzrostu kryształów SiC

Wraz ze stopniową masową produkcją przewodzących podłoży SiC, stawiane są wyższe wymagania stabilności i powtarzalności procesu. W szczególności kontrola defektów, niewielkie korekty lub dryfty pola cieplnego w piecu doprowadzą do zmian w krysztale lub wzrostu defektów.

Na późniejszym etapie staniemy przed wyzwaniem „rośnięcia szybciej, grubiej i dłużej”. Oprócz doskonalenia teorii i inżynierii potrzebne są jako wsparcie bardziej zaawansowane materiały wykorzystujące pole termiczne. Korzystaj z zaawansowanych materiałów, aby hodować zaawansowane kryształy.

Niewłaściwe użycie materiałów takich jak grafit, grafit porowaty i proszek węglika tantalu w tyglu w polu termicznym doprowadzi do defektów, takich jak zwiększone wtrącenia węgla. Ponadto w niektórych zastosowaniach przepuszczalność porowatego grafitu nie jest wystarczająca i należy otworzyć dodatkowe otwory, aby zwiększyć przepuszczalność. Porowaty grafit o wysokiej przepuszczalności stawia czoła wyzwaniom, takim jak przetwarzanie, utrata proszku i trawienie.

Niedawno firma VeTek Semiconductor wprowadziła na rynek nową generację materiałów termicznych do wzrostu kryształów SiC,porowaty węglik tantalu, po raz pierwszy na świecie.

Węglik tantalu ma wysoką wytrzymałość i twardość, a nadanie mu porowatości jest jeszcze trudniejsze. Jeszcze większym wyzwaniem jest wytworzenie porowatego węglika tantalu o dużej porowatości i wysokiej czystości. Firma VeTek Semiconductor wprowadziła na rynek przełomowy porowaty węglik tantalu o dużej porowatości,o maksymalnej porowatości 75%, osiągając wiodący międzynarodowy poziom.

Ponadto można go stosować do filtracji składników fazy gazowej, regulacji lokalnych gradientów temperatury, kierowania kierunkiem przepływu materiału, kontrolowania wycieków itp.; można go łączyć z inną powłoką z węglika tantalu (gęstą) lub węglikiem tantalu firmy VeTek Semiconductor w celu utworzenia komponentów o różnych przewodnościach lokalnego przepływu; niektóre elementy można ponownie wykorzystać.

Parametry techniczne

Porowatość ≤75% Wiodący na arenie międzynarodowej

Kształt: płatkowy, cylindryczny Wiodący międzynarodowy

Jednolita porowatość

Półprzewodnik VeTek z porowatego węglika tantalu (TaC) ma następujące cechy produktu

●   Porowatość do wszechstronnych zastosowań

Porowata struktura TaC zapewnia wielofunkcyjność, umożliwiając jego zastosowanie w wyspecjalizowanych scenariuszach, takich jak:

Dyfuzja gazu: Ułatwia precyzyjną kontrolę przepływu gazu w procesach półprzewodnikowych.

Filtrowanie: Idealny do środowisk wymagających wysokiej wydajności separacji cząstek.

Kontrolowane odprowadzanie ciepła: Efektywnie zarządza ciepłem w systemach wysokotemperaturowych, poprawiając ogólną regulację termiczną.

●   Ekstremalna odporność na wysokie temperatury

Dzięki temperaturze topnienia około 3880°C węglik tantalu doskonale sprawdza się w zastosowaniach wymagających bardzo wysokich temperatur. Ta wyjątkowa odporność na ciepło zapewnia stałą wydajność w warunkach, w których zawodzi większość materiałów.

●   Doskonała twardość i trwałość

Zajmując miejsca 9-10 w skali twardości Mohsa, podobnie jak diament, Porous TaC wykazuje niezrównaną odporność na zużycie mechaniczne, nawet przy ekstremalnych obciążeniach. Ta trwałość sprawia, że ​​idealnie nadaje się do zastosowań narażonych na działanie środowiska ściernego.

●   Wyjątkowa stabilność termiczna

Węglik tantalu zachowuje integralność strukturalną i wydajność w ekstremalnych temperaturach. Jego niezwykła stabilność termiczna zapewnia niezawodną pracę w branżach wymagających stałej temperatury, takich jak produkcja półprzewodników i przemysł lotniczy.

●   Doskonała przewodność cieplna

Pomimo swojej porowatej natury, Porous TaC utrzymuje efektywne przenoszenie ciepła, umożliwiając jego zastosowanie w systemach, w których szybkie odprowadzanie ciepła ma kluczowe znaczenie. Ta cecha zwiększa przydatność materiału w procesach wymagających dużej ilości ciepła.

●   Niska rozszerzalność cieplna zapewniająca stabilność wymiarową

Dzięki niskiemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej węglik tantalu jest odporny na zmiany wymiarów spowodowane wahaniami temperatury. Ta właściwość minimalizuje naprężenia termiczne, wydłużając żywotność komponentów i utrzymując precyzję w krytycznych systemach.

W produkcji półprzewodników porowaty węglik tantalu (TaC) odgrywa następujące kluczowe role

●  W procesach wysokotemperaturowych, takich jak trawienie plazmowe i CVD, półprzewodnikowy porowaty węglik tantalu VeTek jest często stosowany jako powłoka ochronna sprzętu przetwórczego. Wynika to z dużej odporności na korozję powłoki TaC i jej stabilności w wysokiej temperaturze. Właściwości te zapewniają skuteczną ochronę powierzchni narażonych na działanie reaktywnych gazów lub ekstremalnych temperatur, zapewniając w ten sposób normalną reakcję procesów wysokotemperaturowych.

●  W procesach dyfuzyjnych porowaty węglik tantalu może służyć jako skuteczna bariera dyfuzyjna zapobiegająca mieszaniu się materiałów w procesach wysokotemperaturowych. Cecha ta jest często wykorzystywana do kontroli dyfuzji domieszek w procesach takich jak implantacja jonów i kontrola czystości płytek półprzewodnikowych.

●  Porowata struktura półprzewodnika VeTek z porowatego węglika tantalu doskonale nadaje się do środowisk przetwarzania półprzewodników, które wymagają precyzyjnej kontroli przepływu gazu lub filtracji. W tym procesie porowaty TaC odgrywa głównie rolę w filtracji i dystrybucji gazu. Jego obojętność chemiczna gwarantuje, że w procesie filtracji nie przedostaną się żadne zanieczyszczenia. To skutecznie gwarantuje czystość przetworzonego produktu.

O firmie VeTek Semiconductor

Jako profesjonalny chiński producent, dostawca i fabryka porowatego węglika tantalu, posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowany i trwały porowaty węglik tantalu produkowany w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Jeśli masz jakieś pytania lub potrzebujesz dodatkowych informacji na tematPorowaty węglik tantalu、Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalui inneElementy pokryte węglikiem tantalu, nie wahaj się z nami skontaktować.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏E-mail: anny@veteksemi.com