Efektor końcowy do obsługi płytek

Wafer Handling End Effector to rodzaj robota zaprojektowanego specjalnie dla przemysłu półprzewodników, zwykle używanego do przenoszenia i przenoszeniawafle. Środowisko produkcyjne płytek wymaga niezwykle dużej czystości, ponieważ drobne cząstki lub zanieczyszczenia mogą powodować uszkodzenie wiórów podczas przetwarzania. Materiały ceramiczne są szeroko stosowane w produkcji tych dłoni ze względu na ich doskonałe właściwości fizyczne i chemiczne.

W porównaniu z tradycyjnymi materiałami metalowymi zaletyceramikaw materiałach odzwierciedlają się głównie w następujących aspektach:

    •Odporność na korozję: Płytki są narażone na działanie różnych substancji chemicznych podczas procesu produkcyjnego, a materiały ceramiczne mogą skutecznie przeciwdziałać korozji i zapewnić długotrwałe użytkowanie sprzętu.

    •Niskie uwalnianie cząstek: Ponieważ ceramika charakteryzuje się wyjątkowo niskim poziomem uwalniania cząstek, prawie nie wytwarzają cząstek podczas procesu manipulacji, zmniejszając w ten sposób ryzyko zanieczyszczenia płytki.

    •Dobra odporność na wysokie temperatury: W niektórych procesach płytki muszą być obsługiwane w środowisku o wysokiej temperaturze, a odporność na wysoką temperaturę robota do przenoszenia płytek z materiałów ceramicznych umożliwia im dostosowanie się do tych trudnych warunków.

    •Izolacja elektryczna: Ceramika to naturalne izolatory elektryczne, które są niezbędne w procesach przetwarzania z udziałem prądu i mogą zapobiegać oddziaływaniu elektryczności statycznej na płytki.

Konwencjonalny sprzęt do transportu płytek jest wykonany z aluminium, a łódź VetekSemi Wafer Handling SiC Boat wykonana z SiC ma wiele zalet. SiC znany jest z doskonałej wytrzymałości mechanicznej, doskonałej stabilności termicznej i odporności na korozję. Te właściwości sprawiają, że jest to idealny materiał na ramię robota do przenoszenia płytek, gdzie czystość, precyzja i niezawodność mają kluczowe znaczenie.

Wraz z ciągłym rozwojem technologii półprzewodników, rozmiar płytek stopniowo się zwiększa, co stawia wyższe wymagania w zakresie projektowania i produkcji efektora końcowego do obsługi wafli. W przyszłości, wraz z udoskonaleniem technologii automatyzacji, precyzja, szybkość i niezawodność efektora końcowego do obsługi wafli będą nadal się poprawiać.

Jako jedno z podstawowych urządzeń w produkcji półprzewodników, roboty do transportu płytek zajmują ważną pozycję w fabrykach półprzewodników ze względu na ich wysoką czystość, odporność na korozję i stabilność w wysokiej temperaturze. Firma VeTek Semiconductor może zapewnić klientom dostosowane do indywidualnych potrzeb produkty z efektem końcowym do obsługi płytek oraz usługi przedsprzedażne i posprzedażne. Z niecierpliwością czekamy na Twoje konsultacje.

VeTekSemEfektor końcowy do obsługi wafli: