Zasady i technologia powłok metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej (1/2) - VeTek Semiconductor

Proces fizycznyPowłoka próżniowa

Powlekanie próżniowe można zasadniczo podzielić na trzy procesy: „odparowywanie materiału filmowego”, „transport próżniowy” i „wzrost cienkiej warstwy”. W przypadku powlekania próżniowego, jeśli materiał foliowy jest stały, należy podjąć kroki w celu odparowania lub sublimacji stałego materiału foliowego do postaci gazu, a następnie cząstki odparowanego materiału foliowego transportuje się w próżni. W procesie transportu cząstki mogą nie ulec zderzeniom i bezpośrednio dotrzeć do podłoża lub mogą zderzyć się w przestrzeni i po rozproszeniu dotrzeć do powierzchni podłoża. Na koniec cząstki kondensują się na podłożu i rosną, tworząc cienką warstwę. Dlatego proces powlekania obejmuje odparowanie lub sublimację materiału filmowego, transport atomów gazowych w próżni oraz adsorpcję, dyfuzję, zarodkowanie i desorpcję atomów gazowych na powierzchni stałej.

Klasyfikacja powlekania próżniowego

W zależności od różnych sposobów, w jakie materiał foliowy zmienia się ze stanu stałego w gazowy oraz różnych procesów transportu atomów materiału foliowego w próżni, powlekanie próżniowe można zasadniczo podzielić na cztery typy: odparowanie próżniowe, rozpylanie próżniowe, próżniowe powlekanie jonowe, i próżniowe chemiczne osadzanie z fazy gazowej. Wywoływane są pierwsze trzy metodyfizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD), a to drugie nazywa sięchemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).

Powłoka przez odparowanie próżniowe

Powlekanie próżniowe jest jedną z najstarszych technologii powlekania próżniowego. W 1887 r. R. Nahrwold opisał wytwarzanie folii platynowej metodą sublimacji platyny w próżni, co uważa się za początek powlekania przez odparowanie. Obecnie powłoka przez odparowanie rozwinęła się od początkowej powłoki przez odparowanie oporowe do różnych technologii, takich jak powlekanie przez odparowanie wiązką elektronów, powlekanie przez odparowanie z ogrzewaniem indukcyjnym i powlekanie przez odparowanie lasera impulsowego.

Ogrzewanie oporowepowłoka przez odparowanie próżniowe

Źródło parowania oporowego to urządzenie wykorzystujące energię elektryczną do bezpośredniego lub pośredniego ogrzewania materiału foliowego. Źródło parowania oporowego jest zwykle wykonane z metali, tlenków lub azotków o wysokiej temperaturze topnienia, niskim ciśnieniu pary, dobrej stabilności chemicznej i mechanicznej, takich jak wolfram, molibden, tantal, grafit o wysokiej czystości, ceramika z tlenku glinu, ceramika z azotku boru i inne materiały . Do kształtów źródeł parowania oporowego zaliczają się głównie źródła żarowe, źródła foliowe i tygle.

W przypadku stosowania źródeł żarnika i źródeł foliowych wystarczy przymocować dwa końce źródła parowania do słupków końcowych za pomocą nakrętek. Tygiel jest zwykle umieszczony w drucie spiralnym, a drut spiralny jest zasilany w celu ogrzania tygla, a następnie tygiel przekazuje ciepło do materiału foliowego.

VeTek Semiconductor to profesjonalny chiński producentPowłoka z węglika tantalu, Powłoka z węglika krzemu, Specjalny grafit, Ceramika z węglika krzemuIInna ceramika półprzewodnikowa.Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań w zakresie różnych produktów powłokowych dla przemysłu półprzewodników.

Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com