Co to jest powłoka z węglika tantalu?

Materiał ceramiczny z węglika tantalu (TaC) ma temperaturę topnienia do 3880 ℃ i jest związkiem o wysokiej temperaturze topnienia i dobrej stabilności chemicznej. Może utrzymać stabilną wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze. Ponadto ma również odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję chemiczną oraz dobrą kompatybilność chemiczną i mechaniczną z materiałami węglowymi, co czyni go idealnym materiałem powłokowym chroniącym podłoże grafitowe. 

Powłoka z węglika tantalu może skutecznie chronić elementy grafitowe przed działaniem gorącego amoniaku, wodoru, par krzemu i stopionego metalu w trudnych warunkach użytkowania, znacznie wydłużając żywotność elementów grafitowych i tłumiąc migrację zanieczyszczeń w graficie, zapewniając jakośćepitaksjalnyIwzrost kryształów.

Rysunek 1. Typowe elementy powlekane węglikiem tantalu

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) jest najbardziej dojrzałą i optymalną metodą wytwarzania powłok TaC na powierzchniach grafitowych.

Wykorzystując TaCl5 i propylen jako odpowiednio źródła węgla i tantalu oraz argon jako gaz nośny, do komory reakcyjnej wprowadza się odparowane pary TaCl5 o wysokiej temperaturze. W docelowej temperaturze i ciśnieniu para materiału prekursorowego adsorbuje się na powierzchni grafitu, przechodząc szereg złożonych reakcji chemicznych, takich jak rozkład i połączenie źródeł węgla i tantalu, a także szereg reakcji powierzchniowych, takich jak dyfuzja i desorpcja produkty uboczne prekursora. Ostatecznie na powierzchni grafitu tworzy się gęsta warstwa ochronna, która chroni grafit przed stabilną egzystencją w ekstremalnych warunkach środowiskowych i znacznie rozszerza możliwości zastosowań materiałów grafitowych.

Rysunek 2.Zasada procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).

Półprzewodnik VeTekdostarcza głównie produkty z węglika tantalu: pierścień prowadzący TaC, pierścień z trzema płatkami pokryty TaC, tygiel z powłoką TaC, porowaty grafit z powłoką TaC są szeroko stosowane w procesie wzrostu kryształów SiC; porowaty grafit z powłoką TaC, pierścień prowadzący pokryty TaC, grafitowy nośnik wafla pokryty TaC, Susceptory z powłoką TaC, susceptor planetarny, susceptor satelitarny pokryty TaC, a te produkty z powłoką z węglika tantalu są szeroko stosowane wProces epitaksji SiCIProces wzrostu pojedynczego kryształu SiC.

Rysunek 3.WeterynarzNajpopularniejsze produkty firmy ek Semiconductor z węglika tantalu