Odbiorca EPI

Susceptor EPI firmy VeTek Semiconductor został zaprojektowany z myślą o wymagających zastosowaniach w sprzęcie epitaksjalnym. Jego struktura grafitowa pokryta węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości zapewnia doskonałą odporność na ciepło, jednolitą jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epitaksjalnej, a także długotrwałą odporność chemiczną. Cieszymy się na współpracę z Tobą.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

VeTek Semiconductor jest profesjonalnym liderem w Chinach: odbiornik EPI, odbiornik planetarny ALD, producent odbiorników grafitowych pokrytych TaC.

Susceptor EPI firmy VeTek Semiconductor jest ważnym elementem wzrostu epitaksjalnego w procesie produkcji półprzewodników. Jego główną funkcją jest podparcie i ogrzewanie płytki, tak aby na powierzchni płytki mogła równomiernie narosnąć wysokiej jakości warstwa epitaksjalna.

Susceptory EPI firmy VeTek Semiconductors są zwykle wykonane z grafitu o wysokiej czystości i pokryte warstwą węglika krzemu (SiC). Ten projekt ma następujące kluczowe zalety:

Wysoka stabilność temperaturowa: Susceptor EPI może pozostać stabilny w środowisku o wysokiej temperaturze, zapewniając równomierny wzrost warstwy epitaksjalnej.

Odporność na korozję: Powłoka SiC ma doskonałą odporność na korozję i jest odporna na erozję gazów chemicznych, wydłużając żywotność tacy.

Przewodność cieplna: Wysoka przewodność cieplna materiału SiC zapewnia równomierny rozkład temperatury płytki podczas nagrzewania, poprawiając w ten sposób jakość warstwy epitaksjalnej.

Dopasowanie współczynnika rozszerzalności cieplnej: Współczynnik rozszerzalności cieplnej SiC jest podobny do współczynnika grafitu, co pozwala uniknąć problemu zrzucania powłoki na skutek rozszerzalności cieplnej i kurczenia się.

Podstawowe właściwości fizyczneOdbiorca EPI: