Odbiorca EPI
  • Odbiorca EPIOdbiorca EPI

Odbiorca EPI

Susceptor EPI firmy VeTek Semiconductor został zaprojektowany z myślą o wymagających zastosowaniach w sprzęcie epitaksjalnym. Jego struktura grafitowa pokryta węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości zapewnia doskonałą odporność na ciepło, jednolitą jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epitaksjalnej, a także długotrwałą odporność chemiczną. Cieszymy się na współpracę z Tobą.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

VeTek Semiconductor jest profesjonalnym liderem w Chinach, producentem odbiorników EPI, odbiorników planetarnych ALD i odbiorników grafitowych pokrytych TaC. I nasz susceptor EPI jest ważnym składnikiemwzrost epitaksjalnyW procesie produkcji półprzewodników. Jego główną funkcją jest podparcie i ogrzewanie płytki, tak aby na powierzchni płytki mogła równomiernie narosnąć wysokiej jakości warstwa epitaksjalna.


Susceptory EPI firmy VeTek Semiconductors są zwykle wykonane z grafitu o wysokiej czystości i pokryte warstwą węglika krzemu (SiC).Ten projekt ma następujące kluczowe zalety:


● Stabilność w wysokiej temperaturze: Susceptor EPI może pozostać stabilny w środowisku o wysokiej temperaturze, zapewniając równomierny wzrost warstwy epitaksjalnej.


● Odporność na korozję: Powłoka SiC ma doskonałą odporność na korozję i jest odporna na erozję gazów chemicznych, wydłużając żywotność tacy.


● Przewodność cieplna: Wysoka przewodność cieplna materiału SiC zapewnia równomierny rozkład temperatury płytki podczas nagrzewania, poprawiając w ten sposób jakość warstwy epitaksjalnej.


● Dopasowanie współczynnika rozszerzalności cieplnej: Współczynnik rozszerzalności cieplnej SiC jest podobny do współczynnika grafitu, co pozwala uniknąć problemu zrzucania powłoki na skutek rozszerzalności cieplnej i kurczenia się.


Podstawowe właściwości fizycznePOWŁOKA CVD SIC:


Basic physical properties of CVD SIC COATING


Zakład produkcyjny powłok CVD SiC:


CVD SiC Coating Production Shop


Przegląd łańcucha branży epitaksji układów półprzewodnikowych:


Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Gorące Tagi: Susceptor EPI, Chiny, Producent, Dostawca, Fabryka, Dostosowane, Kup, Zaawansowane, Trwałe, Wyprodukowano w Chinach
Powiązana kategoria
Wyślij zapytanie
Prosimy o przesłanie zapytania w poniższym formularzu. Odpowiemy ci w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept