Odbiornik płytowy

Firma Vetek Semiconductor zapewnia najnowocześniejsze grafitowe susceptory dyskowe. Powłoka SiC zapewnia doskonałą stabilność termiczną, doskonałą odporność chemiczną i zwiększoną jednorodność procesu, zapewniając optymalną wydajność i niezawodność. Doświadcz kolejnego poziomu wydajności i precyzji dzięki susceptorowi dyskowemu pokrytemu SiC firmy Vetek Semiconductor.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Susceptor grafitowy Vetek Semiconductor, wysokowydajny produkt do zaawansowanych procesów produkcji półprzewodników. Nasz grafitowy wspornik tarczowy został zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania branży i zapewniać wyjątkową wydajność i niezawodność.

Ten grafitowy susceptor tarczowy jest produktem OEM dla platformy reaktora planetarnego AIX G5.

GaN-on-Si MOCVD jest używany do produkcji epitaksjalnej diod LED, a reaktor Aixtron G5 poprawia wydajność i jednorodność platformy MOCVD. Całkowicie obrócony, symetryczny, jednolity wzór na pięciu płytkach o średnicy 200 mm, wykorzystujący podłoże krzemowe o standardowej grubości i kontrolujący zachowanie płytek przy zginaniu, sformalizował to, czego potrzebowali do produkcji krzemu.

Susceptor dyskowy z grafitu o wysokiej czystości firmy Vetek Semiconductor dla GaN-on-Si MOCVD, niezawodne i ekonomiczne rozwiązanie dla zaawansowanych procesów produkcji półprzewodników.

Nasz susceptor tarczowy z grafitu o wysokiej czystości został specjalnie zaprojektowany, aby spełniać wymagania procesów MOCVD GaN-on-Si. Dzięki wyjątkowej stabilności termicznej i odporności na ciepło może wytrzymać wymagające warunki temperaturowe, zwykle w zakresie od 800°C do 1100°C, zapewniając optymalną wydajność podczas procesu osadzania.

Materiał grafitowy o wysokiej czystości zastosowany w naszym susceptorze tarczowym zapewnia doskonałą odporność chemiczną, dzięki czemu jest on kompatybilny z amoniakiem (NH3) i prekursorami metali organicznych powszechnie stosowanymi w GaN-on-Si MOCVD. Eliminuje to potrzebę stosowania dodatkowych powłok SiC, redukując koszty produkcji bez uszczerbku dla wydajności.

Susceptor dyskowy z grafitu o wysokiej czystości firmy Vetek Semiconductor oferuje ekonomiczne rozwiązanie bez utraty jakości. Jego niezawodność, trwałość i kompatybilność z procesami MOCVD GaN-on-Si sprawiają, że jest to preferowany wybór dla producentów półprzewodników. Zaufaj firmie Vetek Semiconductor, która dostarczy wysokowydajne susceptory dyskowe grafitowe na potrzeby produkcji MOCVD GaN-on-Si.