Cylinder grafitowy CVD SiC

Cylinder grafitowy CVD SiC firmy Vetek Semiconductor odgrywa kluczową rolę w sprzęcie półprzewodnikowym, służąc jako osłona ochronna w reaktorach, chroniąca elementy wewnętrzne w wysokich temperaturach i ciśnieniach. Skutecznie chroni przed chemikaliami i ekstremalnymi temperaturami, zachowując integralność sprzętu. Dzięki wyjątkowej odporności na zużycie i korozję zapewnia trwałość i stabilność w trudnych warunkach. Stosowanie tych osłon poprawia wydajność urządzeń półprzewodnikowych, wydłuża ich żywotność oraz ogranicza wymagania konserwacyjne i ryzyko uszkodzeń. Zapraszamy do zapytania nas.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Cylinder grafitowy CVD SiC firmy Vetek Semiconductor odgrywa ważną rolę w sprzęcie półprzewodnikowym. Zwykle stosuje się go jako osłonę ochronną wewnątrz reaktora, aby zapewnić ochronę wewnętrznych elementów reaktora w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu. Ta osłona ochronna może skutecznie izolować chemikalia i wysokie temperatury w reaktorze, zapobiegając ich uszkodzeniu sprzętu. Jednocześnie cylinder grafitowy CVD SiC ma również doskonałą odporność na zużycie i korozję, dzięki czemu jest w stanie utrzymać stabilność i długoterminową trwałość w trudnych warunkach pracy. Stosując osłony ochronne wykonane z tego materiału, można poprawić wydajność i niezawodność urządzeń półprzewodnikowych, wydłużając żywotność urządzenia, zmniejszając jednocześnie potrzeby konserwacyjne i ryzyko uszkodzenia.

Cylinder grafitowy CVD SiC ma szeroki zakres zastosowań w sprzęcie półprzewodnikowym, w tym między innymi następujące aspekty:

Sprzęt do obróbki cieplnej: Cylinder grafitowy CVD SiC może być stosowany jako osłona ochronna lub osłona cieplna w sprzęcie do obróbki cieplnej w celu ochrony elementów wewnętrznych przed wysokimi temperaturami, zapewniając jednocześnie doskonałą odporność na wysokie temperatury.

Reaktor chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD): W reaktorze CVD cylinder grafitowy CVD SiC można zastosować jako osłonę ochronną komory reakcji chemicznej, skutecznie izolując substancję reakcyjną i zapewniając odporność na korozję.

Zastosowania w środowiskach korozyjnych: Ze względu na doskonałą odporność na korozję, cylinder grafitowy CVD SiC może być stosowany w środowiskach skorodowanych chemicznie, takich jak korozyjne środowiska gazowe lub ciekłe podczas produkcji półprzewodników.

Sprzęt do hodowli półprzewodników: osłony ochronne lub inne elementy stosowane w sprzęcie do hodowli półprzewodników w celu ochrony sprzętu przed wysokimi temperaturami, korozją chemiczną i zużyciem, aby zapewnić stabilność sprzętu i długoterminową niezawodność.

Stabilność w wysokiej temperaturze, odporność na korozję, doskonałe właściwości mechaniczne, przewodność cieplna. Dzięki tym doskonałym parametrom pomaga efektywniej odprowadzać ciepło w urządzeniach półprzewodnikowych, utrzymując stabilność i wydajność urządzenia.

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SiC:

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC
Nieruchomość	Typowa wartość
Struktura kryształu	Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111).
Gęstość	3,21 g/cm3
Twardość	Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g)
ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 µm
Czystość chemiczna	99,99995%
Pojemność cieplna	640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacji	2700 ℃
Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
Moduł Younga	Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃
Przewodność cieplna	300W·m-1·K-1
Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10-6K-1