Powłoka CVD SiC Atrapa płytki

Cechy produktu powłoki VeTeksemi CVD SiC Atrapa płytki:

●  Odporność na gaz w wysokiej temperaturze: SiC Dummy Wafer ma doskonałą odporność na erozję gazową w wysokiej temperaturze, nadaje się do stosowania w ekstremalnych warunkach. Ta odporność zapewnia stałą wydajność nawet w najbardziej wymagających środowiskach.

●  Długoterminowa integralność strukturalna: Powłoka CVD SiC Atrapy płytek są zaprojektowane tak, aby były odporne na zginanie i odkształcenia przez długi czas. Ich trwałość gwarantuje, że pozostaną niezawodne podczas wielu cykli testowych, co ogranicza potrzebę częstej wymiany.

●  Powierzchnia wolna od cząstek: Atrapy płytek SiC mają łatwą do czyszczenia powierzchnię, która minimalizuje problemy z cząsteczkami, co ma kluczowe znaczenie dla utrzymania środowiska wolnego od zanieczyszczeń. Ta funkcja zapewnia wysoką jakość wyników i zmniejsza ryzyko wad.

●  Stabilność chemiczna: Stabilność chemiczna płytki obojętnej pokrytej SiC pozwala jej wytrzymać działanie różnych substancji korozyjnych bez degradacji. Ta cecha ma kluczowe znaczenie dla utrzymania integralności płytki podczas ekspozycji chemicznej.

Specyficzne zastosowania płytek obojętnych pokrytych CVD SiC:

●  Wszechstronne testowanie i eksperymentowanie: Płytki obojętne pokryte SiC są niezbędne na wszystkich etapach produkcji półprzewodników, zapewniając bezpieczny i niezawodny sposób testowania i eksperymentowania. Są niezbędne na początku procesu produkcyjnego, zapewniając optymalne zachowanie wszystkich parametrów przed użyciem wartościowych płytek produkcyjnych.

●  Ochrona podczas dyfuzji: Podczas procesu dyfuzji płytki obojętne odgrywają istotną rolę, osłaniając standardowe płytki krzemowe. Ta funkcja ochronna zapobiega uszkodzeniom i zanieczyszczeniom, zachowując w ten sposób integralność i jakość oryginalnego wafla.

●  Dokładność pomiaru: Płytki te są starannie używane do pomiaru grubości folii, odporności na ciśnienie i współczynnika odbicia. Pomagają także wykryć obecność pinballów i ocenić wymiary wzoru w litografii, w znaczący sposób przyczyniając się do dokładności procesu i redukcji defektów.

W rzeczywistości firma VeTek Semiconductor obsługuje usługi związane z produktami dostosowanymi do indywidualnych potrzeb i może zapewnić zdefiniowaną przez użytkownika serializację na każdym fikcyjnym waflu z powłoką CVD SiC zgodnie z potrzebami klienta, umożliwiając dostosowanie rozmiaru i grubości. Niestandardowe grawerowanie laserowe dodatkowo eliminuje ryzyko skażenia krzyżowego, zapewniając wysoki stopień czystości i niezawodności.

DANE SEM FOLII POWLEKAJĄCEJ CVD SIC: