Cokół z topionego kwarcu ALD

Podstawa VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal odgrywa kluczową rolę w procesie produkcji półprzewodników jako konstrukcja wsporcza dlałódź kwarcowa, który służy do przechowywaniaopłatek. Podstawa z topionego kwarcu pomaga uzyskać równomierne osadzanie folii poprzez utrzymanie stabilnej temperatury, co bezpośrednio wpływa na wydajność i niezawodność urządzeń półprzewodnikowych. Ponadto Quartz Pedestal zapewnia równomierny rozkład ciepła i światła w komorze procesowej, poprawiając w ten sposób ogólną jakość procesu osadzania.

Zalety materiału cokołu z topionego kwarcu ALD

Odporność na wysoką temperaturę: Temperatura mięknienia cokołu ze stopionego kwarcu wynosi aż około 1730°C i może on wytrzymać działanie w wysokich temperaturach od 1100°C do 1250°C przez długi czas i może być narażony na działanie ekstremalnych temperatur do 1450°C na krótki czas.

Doskonała odporność na korozję: Topiony kwarc jest wysoce obojętny chemicznie na prawie wszystkie kwasy z wyjątkiem kwasu fluorowodorowego. Jego odporność na kwasy jest 30 razy większa niż ceramiki i 150 razy większa niż stali nierdzewnej. Topiony kwarc nie ma sobie równych pod względem chemicznym w wysokich temperaturach, co czyni go idealnym materiałem do złożonych procesów chemicznych.

Stabilność termiczna: Kluczową cechą materiału stopionego kwarcu jest jego wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej. Oznacza to, że z łatwością radzi sobie z dużymi wahaniami temperatury bez pękania. Na przykład kwarc z topionej krzemionki można szybko podgrzać do 1100°C i zanurzyć bezpośrednio w zimnej wodzie bez uszkodzeń, co jest ważną cechą w warunkach produkcyjnych charakteryzujących się wysokimi naprężeniami.

Rygorystyczny proces produkcyjny: Proces produkcji cokołów z topionej krzemionki ściśle przestrzega wysokich standardów jakości. W procesie produkcyjnym wykorzystuje się procesy formowania na gorąco i spawania, które zwykle odbywają się w pomieszczeniu czystym klasy 10 000. Następnie cokół ze stopionego szkła kwarcowego jest dokładnie czyszczony ultraczystą wodą (18 MΩ), aby zapewnić czystość produktu i optymalną wydajność. Każdy gotowy produkt jest rygorystycznie sprawdzany, czyszczony i pakowany w pomieszczeniu czystym klasy 1000 lub wyższej, aby spełnić wysokie standardy branży półprzewodników.

Nieprzezroczysty materiał kwarcowo-krzemionkowy o wysokiej czystości

Cokół VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal wykorzystuje nieprzezroczysty materiał kwarcowy o wysokiej czystości, aby skutecznie izolować ciepło i światło. Jego doskonałe właściwości ekranowania ciepła i światła umożliwiają utrzymanie równomiernego rozkładu temperatury w komorze procesowej, zapewniając jednolitość i konsystencję cienkichosadzanie filmuna powierzchni wafla.

Pola aplikacji

Cokoły z topionego kwarcu są szeroko stosowane w wielu dziedzinach przemysłu półprzewodników ze względu na ich doskonałą wydajność. wproces osadzania warstwy atomowej (ALD).wspomaga precyzyjną kontrolę wzrostu filmu i zapewnia rozwój urządzeń półprzewodnikowych. wproces niskociśnieniowego chemicznego osadzania z fazy gazowej (LPCVD).stabilność termiczna i zdolność ekranowania światła cokołu kwarcowego o wysokiej czystości gwarantują równomierne osadzanie cienkich warstw, poprawiając w ten sposób wydajność i wydajność urządzenia.

Ponadto w procesie płytek dyfuzyjnych odporność na wysoką temperaturę i odporność na korozję chemiczną stopionego kwarcu zapewniają niezawodność i spójność procesu domieszkowania materiału półprzewodnikowego. Te kluczowe procesy determinują parametry elektryczne urządzeń półprzewodnikowych, a wysokiej jakości materiały typu Topiony Kwarc odgrywają niezastąpioną rolę w osiąganiu najlepszych wyników tych procesów.

Sklepy z cokołami VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz: